配置：
1．測試室尺寸：￠100-200×50-150；
2．檢漏儀：FEIFFER HLT560或HLT570；
3．預抽泵：雙級旋片泵或渦旋干泵；
4．99.999%高純N2氣，8L鋁制瓶。

技術指標：
1．最小可檢漏率：5×10-12PaM3/S；
2．預抽泵抽速：2－4L/S。